특허

본 발명은 유량함수 내장형 질량유량계 교정방법에 관한 것으로, 교정 시험장치(1)에 시험대상 유량계(10)를 설치하고, 데이터수집장치(30)에 유량함수와 필요한 입력값을 입력하여 설정하는 교정시험 장치 준비 및 설정 단계(S100)와; 상기 교정 시험장치(1)에 구비된 기체저장탱크(40)를 통해 기체를 연속적으로 공급하면서 상기 시험대상 유량계(10)에 설치된 온도센서(12)와 압력센서(13) 및 차압센서(14)를 이용하여 기체의 온도(), 압력() 및 차압()을 연속적으로 측정하여 획득한 유량데이터와 상기 교정시험 장치 준비 및 설정 단계(S100)에서 입력된 값들을 이용하여 상기 데이터수집장치(30)의 질량유량()을 산출하는 유량 산출 단계(S200)와; 상기 유량 산출 단계(S200)에서 산출된 질량유량()과 상기 기준유량계(20)의 유량을 비교하여 오차를 구한 다음, 구해진 오차를 기초로 상기 시험대상 유량계(10)의 교정함수를 산출하여 적용하는 교정함수 산출 및 적용 단계(S300)로 이루어지는 것을 특징으로 하며, 이러한 구성에 의해 본 발명은 연속적으로 획득된 온도, 압력, 차압 등의 유량데이터를 기초로 유량계의 측정오차를 교정함으로써 질량유량계를 신속하고도 정확하게 교정할 수 있다.