[KR] 압전소자의 제조 방법(Manufacturing method for piezo-electric element)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2016-0021823 / 2016-02-24
- 등록번호/일자 10-1759861 / 2017-07-14
발명자
나정효 , 신성호
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명은 베이스기판(100)을 준비하는 제1단계; 바나듐이 도핑된 산화아연(Vanadium-doped ZNO)으로 이루어지는 나노시트와 폴리머용액을 서로 혼합한 나노코팅액(20)을 베이스기판(100)의 일면에 스핀코팅하여 나노코팅층(200)을 형성하는 제2단계; 상기 베이스기판(100)의 나노코팅층(200)과 다른 베이스기판(100)의 나노코팅층(200)을 서로 접합하여 적층체를 생성하는 제3단계; 및 상기 적층체를 가열하여 압전소자를 제조하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전소자의 제조 방법에 관한 것이다.