[KR] 슬릿을 구비한 대면적 용량 결합성 플라즈마 전극(Large Area Capacitively Coupled Plasma Electrode With Slits)
- 국가/구분 KR/특허
- 해외특허
- 출원번호/일자 10-2016-0047141 / 2016-04-18
- 등록번호/일자 10-1777047 / 2017-09-04
발명자
유신재 , 김대웅 , 이장재 , 김시준
출원인
충남대학교산학협력단
초록
본 발명의 축전 결합 플라즈마용 전극을 제공한다. 이 축전 결합 플라즈마용 전극은 RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극; 상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함한다.