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[KR] 슬릿을 구비한 대면적 용량 결합성 플라즈마 전극(Large Area Capacitively Coupled Plasma Electrode With Slits)

  • 국가/구분 KR/특허
  • 해외특허
  • 출원번호/일자 10-2016-0047141 / 2016-04-18
  • 등록번호/일자 10-1777047 / 2017-09-04

발명자

유신재 , 김대웅 , 이장재 , 김시준

출원인

충남대학교산학협력단

초록

본 발명의 축전 결합 플라즈마용 전극을 제공한다. 이 축전 결합 플라즈마용 전극은 RF 전력을 공급받은 디스크 형상의 중심 전극; 상기 중심 전극과 이격되고 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 동일한 중심축을 가지는 링 형상을 가지는 적어도 하나의 보조 전극; 및 상기 중심 전극의 배치 평면에서 상기 중심 전극과 상기 보조 전극을 연결하는 중심 전극 연결부; 를 포함한다.

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